Linhas tecnológicas de deposição de vácuo

A linha de vácuo destina-se para aplicação de uma amplia gama de revestimentos (protectores - decorativos, de reforçado, ópticos) por meio de métodos combinados em um modo automático.

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Como características especiais dalinha de deposição de vácuo devemos incluir:

- a presença de módulo de preparação antecipada da fonte de iões que permite a criação de revestimentos com altas propriedades físicas e mecânicas;

- a exclusão de uma carrega periódica de pequenos lotes de artigos em a câmara de processo reduz significativamente a presença de impurezas em a formação de revestimentos uniformes, e também aumenta significativamente a produtividade da instalação;

- a possibilidade de controlar a espessura do revestimento em o modo de deposição e ter a saída das características espectrais em um monitor de computador.

Características técnicas das linhas tecnológicas de vácuo:

Quantidade de câmaras - 3-7 unidades.
Dimensões dos substratos:
largura - até 3000 mm
comprimento - até 4000 mm
Quantidade de magnetrões - 2-7 unidades.
Quantidade de fontes de iões - 1-3 unidades.
Duração do ciclo - desde 60 segundos.
Potência da fonte de alimentação do magnetrón - 10-70 kW

Legenda:
1. Aquecedor
2, 3, 5, 7, 9. Câmara
4. Fonte de iões
6,8. Magnetrões
10. Produto
11, 12. Racks de alimentação
13. Rack de controle
14. Sistema de apoio ao vácuo
15. Sistema de alto vácuo
16. Rack de comando
17. Obturador
I - V. Câmaras

Trabalhos atuais, vídeo do processo: