Como características especiais dalinha de deposição de vácuo devemos incluir:
- a presença de módulo de preparação antecipada da fonte de iões que permite a criação de revestimentos com altas propriedades físicas e mecânicas;
- a exclusão de uma carrega periódica de pequenos lotes de artigos em a câmara de processo reduz significativamente a presença de impurezas em a formação de revestimentos uniformes, e também aumenta significativamente a produtividade da instalação;
- a possibilidade de controlar a espessura do revestimento em o modo de deposição e ter a saída das características espectrais em um monitor de computador.