Equipamento para deposição em vácuo a aplicação de revestimentos semelhantes ao diamante
Equipamento para deposição em vácuo para a aplicação de revestimentos semelhantes ao diamante nos metais, óptica, ligas de metais, com o uso de fontes plasmáticas de iões. A instalação permite aplicar revestimentos nos artigos com uma baixa temperatura de trabalho. A instalação DLC pode trabalhar em um regime manual ou automático pré-programado com ajuda de um computador pessoal.
A equipamento para deposição DLC em vácuoestá composta de:
- Dimensões das câmaras:
- diâmetro, mm - 500-2000,
- altura ou comprimento, mm - 500-2500,
- Câmaras de vácuo de execução vertical. - O sistema de vácuo pode ser construído usando diferentes meios de bombeio.
- Fontes de plasma separados com ignição eletrônica e fontes de alimentação de pulso.
Fonte iônica de gás com uma fonte de alimentação de pulso.